藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)材料應(yìng)用(yòng)的(de)加工與(yǔ)生(shēng)産
一、 按代(dài)際與(yǔ)發(fà)展(zhǎn)階(jiē)段(duàn)分(fēn)類(lèi)(最常用(yòng)的(de)分(fēn)類(lèi)法(fǎ))
这(zhè)种分(fēn)類(lèi)方(fāng)法(fǎ)反(fǎn)映了(le)半導體(tǐ)材料技術(shù)的(de)發(fà)展(zhǎn)曆程和(hé)市(shì)场(chǎng)應(yìng)用(yòng)的(de)主(zhǔ)流變(biàn)化(huà)。
第(dì)一代(dài)半導體(tǐ)材料
代(dài)表:矽、鍺
特(tè)點(diǎn):
矽 是(shì)當今全(quán)球95%以(yǐ)上(shàng)半導體(tǐ)産業的(de)基礎。
資源豐富、成本(běn)低(dī)、技術(shù)最成熟、工藝最完善。
禁带(dài)宽(kuān)度(dù)較窄(zhǎi)(矽:1.12 eV),性能上(shàng)适用(yòng)于常規的(de)集成電(diàn)路(lù)和(hé)低(dī)頻、中(zhōng)低(dī)壓應(yìng)用(yòng)。
應(yìng)用(yòng):CPU、存儲器、邏輯芯片(piàn)、模拟芯片(piàn)等絕大(dà)多(duō)數集成電(diàn)路(lù)。
現(xiàn)狀:鍺已很少(shǎo)用(yòng)于主(zhǔ)流集成電(diàn)路(lù),但矽仍是(shì)絕对(duì)的(de)主(zhǔ)導材料。
第(dì)二(èr)代(dài)半導體(tǐ)材料
代(dài)表:砷化(huà)镓、磷化(huà)铟
特(tè)點(diǎn):
具有高(gāo)電(diàn)子遷移率和(hé)直接带(dài)隙。
适用(yòng)于高(gāo)頻、高(gāo)速、以(yǐ)及(jí)光(guāng)電(diàn)子领域。
但材料成本(běn)高(gāo)、毒性大(dà)、機(jī)械強(qiáng)度(dù)較差,難以(yǐ)替代(dài)矽做大(dà)規模集成電(diàn)路(lù)。
應(yìng)用(yòng):
微波(bō)射頻器件(jiàn):手(shǒu)機(jī)功放(fàng)、衛星(xīng)通(tòng)信(xìn)、雷(léi)达(dá)。
光(guāng)電(diàn)子器件(jiàn):激光(guāng)器、發(fà)光(guāng)二(èr)极(jí)管(guǎn)。
第(dì)三(sān)代(dài)半導體(tǐ)材料(宽(kuān)禁带(dài)半導體(tǐ))
代(dài)表:碳化(huà)矽、氮化(huà)镓
特(tè)點(diǎn):
禁带(dài)宽(kuān)度(dù)大(dà)(通(tòng)常 > 2.7eV),因(yīn)此(cǐ)被(bèi)称为(wèi)“宽(kuān)禁带(dài)半導體(tǐ)”。
擊穿電(diàn)场(chǎng)高(gāo)、热(rè)導率高(gāo)、耐高(gāo)温(wēn)、抗輻射。
非(fēi)常适合制造高(gāo)温(wēn)、高(gāo)頻、高(gāo)功率的(de)電(diàn)子器件(jiàn)。
應(yìng)用(yòng):
碳化(huà)矽:新能源汽車的(de)電(diàn)驅系(xì)統、車载(zài)充電(diàn)器、充電(diàn)樁、智能電(diàn)网(wǎng)、工業電(diàn)機(jī)驅動(dòng)。
氮化(huà)镓:快速充電(diàn)器、5G基站射頻器件(jiàn)、高(gāo)性能電(diàn)源、微型激光(guāng)器。
二(èr)、 按化(huà)學(xué)成分(fēn)分(fēn)類(lèi)
1. 元(yuán)素半導體(tǐ)
由(yóu)單一元(yuán)素構成的(de)半導體(tǐ)。
代(dài)表:矽、鍺
硒、碲 等也(yě)曾被(bèi)研究,但性能和(hé)應(yìng)用(yòng)遠(yuǎn)不(bù)及(jí)矽。
2. 化(huà)合物(wù)半導體(tǐ)
由(yóu)两(liǎng)种或(huò)两(liǎng)种以(yǐ)上(shàng)元(yuán)素按一定(dìng)化(huà)學(xué)计量(liàng)比化(huà)合而(ér)成。这(zhè)是(shì)高(gāo)性能和(hé)專用(yòng)半導體(tǐ)器件(jiàn)的(de)主(zhǔ)要(yào)来(lái)源。
III-V族化(huà)合物(wù):由(yóu)元(yuán)素周期(qī)表中(zhōng)III族和(hé)V族元(yuán)素構成。
代(dài)表:砷化(huà)镓、磷化(huà)铟、氮化(huà)镓。
特(tè)點(diǎn):電(diàn)子遷移率高(gāo),多(duō)为(wèi)直接带(dài)隙,是(shì)高(gāo)頻通(tòng)信(xìn)和(hé)光(guāng)電(diàn)子领域的(de)核心(xīn)材料。
II-VI族化(huà)合物(wù):由(yóu)II族和(hé)VI族元(yuán)素構成。
代(dài)表:硫化(huà)鋅、碲化(huà)镉。
特(tè)點(diǎn):主(zhǔ)要(yào)用(yòng)于光(guāng)電(diàn)子领域,如(rú)紅(hóng)外(wài)探測、發(fà)光(guāng)器件(jiàn)。
IV-IV族化(huà)合物(wù):
代(dài)表:碳化(huà)矽。
氧化(huà)物(wù)半導體(tǐ):
代(dài)表:氧化(huà)鋅、氧化(huà)镓。
特(tè)點(diǎn):氧化(huà)镓 是(shì)新兴的(de)超宽(kuān)禁带(dài)半導體(tǐ),在(zài)超高(gāo)功率器件(jiàn)方(fāng)面(miàn)潛力巨大(dà)。
三(sān)、 按形态與(yǔ)集成度(dù)分(fēn)類(lèi)
这(zhè)反(fǎn)映了(le)材料制備和(hé)器件(jiàn)制造工藝的(de)不(bù)同(tóng)。
1. 體(tǐ)材料
指具有一定(dìng)三(sān)維尺(chǐ)寸(cùn)的(de)半導體(tǐ)單晶材料。
特(tè)點(diǎn):早(zǎo)期(qī)的(de)晶體(tǐ)管(guǎn)和(hé)二(èr)极(jí)管(guǎn)直接由(yóu)这(zhè)种材料制成。
示例:從圆(yuán)柱(zhù)形矽錠上(shàng)切(qiè)割下(xià)来(lái)的(de)矽晶圆(yuán)。
2. 薄膜材料
通(tòng)过(guò)在(zài)襯底(如(rú)矽片(piàn)、藍(lán)寶(bǎo)石(dàn))上(shàng)生(shēng)长(cháng)一层(céng)极(jí)薄的(de)半導體(tǐ)單晶或(huò)多(duō)晶层(céng)而(ér)形成。
特(tè)點(diǎn):这(zhè)是(shì)現(xiàn)代(dài)半導體(tǐ)工藝的(de)主(zhǔ)流,可(kě)以(yǐ)實(shí)現(xiàn)复雜的(de)多(duō)层(céng)結構。
示例:
外(wài)延片(piàn):在(zài)矽襯底上(shàng)生(shēng)长(cháng)一层(céng)更(gèng)純淨的(de)矽單晶层(céng)。
异質(zhì)結結構:由(yóu)两(liǎng)种不(bù)同(tóng)半導體(tǐ)材料(如(rú)GaAs和(hé)AlGaAs)形成的(de)薄层(céng)結構,能産生(shēng)優异的(de)電(diàn)學(xué)和(hé)光(guāng)學(xué)特(tè)性,是(shì)高(gāo)性能晶體(tǐ)管(guǎn)和(hé)激光(guāng)器的(de)基礎。
四(sì)、 其(qí)他(tā)新兴半導體(tǐ)材料
这(zhè)些(xiē)材料代(dài)表了(le)未来(lái)的(de)技術(shù)前(qián)沿,目前(qián)大(dà)多(duō)處(chù)于研發(fà)或(huò)早(zǎo)期(qī)應(yìng)用(yòng)階(jiē)段(duàn)。
低(dī)維半導體(tǐ)材料:
二(èr)維材料:如(rú)石(dàn)墨(mò)烯(零(líng)带(dài)隙,導電(diàn)性极(jí)佳)、过(guò)渡金(jīn)屬硫化(huà)物(wù)(如(rú)二(èr)硫化(huà)钼,具有類(lèi)似矽的(de)半導體(tǐ)特(tè)性)。它(tā)们(men)只有原子层(céng)厚度(dù),是(shì)未来(lái)超薄、柔性電(diàn)子器件(jiàn)的(de)候選材料。
宽(kuān)禁带(dài)/超宽(kuān)禁带(dài)半導體(tǐ):
氧化(huà)镓:禁带(dài)宽(kuān)度(dù)遠(yuǎn)超碳化(huà)矽和(hé)氮化(huà)镓,在(zài)超高(gāo)功率密度(dù)應(yìng)用(yòng)上(shàng)前(qián)景廣闊。
金(jīn)剛石(dàn):被(bèi)譽为(wèi)“終(zhōng)极(jí)半導體(tǐ)”,具有极(jí)高(gāo)的(de)热(rè)導率和(hé)擊穿電(diàn)场(chǎng),但制備技術(shù)難度(dù)极(jí)大(dà)。
有機(jī)半導體(tǐ):
代(dài)表:並(bìng)五(wǔ)苯等有機(jī)聚合物(wù)。
特(tè)點(diǎn):成本(běn)低(dī)、可(kě)溶液加工、具有柔性。
應(yìng)用(yòng):OLED显示、柔性電(diàn)子、射頻識别标(biāo)签(qiān)。
總(zǒng)結表格
| 分(fēn)類(lèi)維度(dù) | 類(lèi)别 | 代(dài)表材料 | 主(zhǔ)要(yào)特(tè)點(diǎn)與(yǔ)應(yìng)用(yòng) |
| 按代(dài)際 | 第(dì)一代(dài) | 矽、鍺 | 技術(shù)成熟,成本(běn)低(dī),用(yòng)于絕大(dà)多(duō)數集成電(diàn)路(lù) |
| 第(dì)二(èr)代(dài) | 砷化(huà)镓、磷化(huà)铟 | 高(gāo)頻、高(gāo)速,用(yòng)于射頻和(hé)光(guāng)電(diàn)子器件(jiàn) | |
| 第(dì)三(sān)代(dài) | 碳化(huà)矽、氮化(huà)镓 | 宽(kuān)禁带(dài),耐高(gāo)壓、高(gāo)温(wēn),用(yòng)于功率電(diàn)子和(hé)射頻 | |
| 按化(huà)學(xué)成分(fēn) | 元(yuán)素半導體(tǐ) | 矽、鍺 | 單一元(yuán)素構成 |
| 化(huà)合物(wù)半導體(tǐ) | 砷化(huà)镓、碳化(huà)矽、磷化(huà)铟 | 由(yóu)不(bù)同(tóng)元(yuán)素化(huà)合而(ér)成,性能多(duō)樣(yàng) | |
| 按形态 | 體(tǐ)材料 | 矽晶圆(yuán) | 具有三(sān)維體(tǐ)積的(de)單晶材料 |
| 薄膜材料 | 外(wài)延片(piàn)、异質(zhì)結 | 在(zài)襯底上(shàng)生(shēng)长(cháng)的(de)薄层(céng),用(yòng)于現(xiàn)代(dài)先(xiān)進(jìn)器件(jiàn) | |
| 新兴材料 | 二(èr)維材料 | 石(dàn)墨(mò)烯、二(èr)硫化(huà)钼 | 原子級厚度(dù),用(yòng)于未来(lái)柔性、超薄電(diàn)子 |
| 氧化(huà)物(wù)半導體(tǐ) | 氧化(huà)镓 | 超宽(kuān)禁带(dài),用(yòng)于超高(gāo)功率器件(jiàn) | |
| 有機(jī)半導體(tǐ) | 並(bìng)五(wǔ)苯 | 可(kě)彎曲(qū),用(yòng)于OLED显示、柔性電(diàn)子 |
希望这(zhè)个(gè)全(quán)面(miàn)的(de)分(fēn)類(lèi)能幫助您更(gèng)好(hǎo)地(dì)理(lǐ)解(jiě)和(hé)記(jì)憶半導體(tǐ)材料的(de)世界。
電(diàn)話(huà)
唐小姐/137 1296 0208
電(diàn)話(huà)
唐小姐/135 2884 5582
微信(xìn)
關(guān)注微信(xìn)