在(zài)生(shēng)産藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)襯底的(de)时候産生(shēng)裂痕和(hé)崩邊(biān)現(xiàn)象(xiàng)的(de)比例比較高(gāo)，占總(zǒng)比的(de)5%-8%。我(wǒ)國(guó)藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)批量(liàng)生(shēng)産的(de)技術(shù)還(huán)很不(bù)成熟，切(qiè)割完的(de)藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)晶片(piàn)有很深的(de)加工痕迹，抛光(guāng)後(hòu)易形成很深的(de)麻(má)坑或(huò)劃(huà)傷。因(yīn)此(cǐ)需要(yào)通(tòng)过(guò)CMP研磨抛光(guāng)技術(shù)来(lái)达(dá)到(dào)工件(jiàn)平坦度(dù)，抛光(guāng)过(guò)程中(zhōng)影響抛光(guāng)質(zhì)量(liàng)的(de)因(yīn)素有很多(duō)，如(rú)藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)抛光(guāng)液的(de)組分(fēn)和(hé)PH值、壓力、温(wēn)度(dù)、流量(liàng)、轉(zhuǎn)速和(hé)抛光(guāng)垫的(de)質(zhì)量(liàng)等。
藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)晶圆(yuán)的(de)抛光(guāng)需要(yào)对(duì)抛光(guāng)液材質(zhì)有很高(gāo)的(de)要(yào)求，磨料太软(ruǎn)会(huì)導致(zhì)抛光(guāng)时間(jiān)过(guò)长(cháng)而(ér)抛光(guāng)效果(guǒ)不(bù)理(lǐ)想(xiǎng)。
目前(qián)抛藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)合适的(de)是(shì)鑽(zuàn)石(dàn)抛光(guāng)液，鑽(zuàn)石(dàn)抛光(guāng)液磨料是(shì)采用(yòng)金(jīn)剛石(dàn)为(wèi)原料，有很高(gāo)的(de)硬度(dù)，搭配藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)抛光(guāng)垫有很快的(de)抛光(guāng)速率。如(rú)果(guǒ)对(duì)抛光(guāng)光(guāng)良度(dù)有很高(gāo)的(de)要(yào)求可(kě)以(yǐ)在(zài)選用(yòng)吉致(zhì)電(diàn)子矽溶胶(jiāo)抛光(guāng)液進(jìn)行精拋。
