不(bù)同(tóng)的(de)研磨液对(duì)藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)研磨效果(guǒ)不(bù)應(yìng)相同(tóng)，而(ér)且(qiě)研磨液对(duì)藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)晶體(tǐ)研磨效率的(de)提(tí)升(shēng)和(hé)表面(miàn)質(zhì)量(liàng)的(de)改善具有一定(dìng)的(de)良好(hǎo)反(fǎn)應(yìng)。
藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)晶體(tǐ)因(yīn)其(qí)優越的(de)物(wù)理(lǐ)、光(guāng)學(xué)性能，在(zài)LED襯底材料和(hé)固态激光(guāng)發(fà)光(guāng)介質(zhì)中(zhōng)運用(yòng)非(fēi)常廣泛，並(bìng)且(qiě)将運用(yòng)到(dào)手(shǒu)機(jī)面(miàn)闆上(shàng)。藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)的(de)廣泛運用(yòng)对(duì)它(tā)的(de)超光(guāng)滑無損傷的(de)表面(miàn)研磨抛光(guāng)技術(shù)提(tí)出了(le)更(gèng)高(gāo)的(de)要(yào)求，但藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)因(yīn)其(qí)物(wù)理(lǐ)、化(huà)學(xué)性能比較穩定(dìng)，在(zài)加工上(shàng)比較艱難。
在(zài)目前(qián)的(de)工業上(shàng)，对(duì)于藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)的(de)加工需要(yào)采用(yòng)切(qiè)片(piàn)、倒角(jiǎo)、研磨、抛光(guāng)等等工序才能加工完成，其(qí)中(zhōng)研磨加工的(de)作(zuò)用(yòng)是(shì)重(zhòng)中(zhōng)之(zhī)重(zhòng)，因(yīn)为(wèi)研磨是(shì)工件(jiàn)獲得良好(hǎo)平面(miàn)度(dù)、保證抛光(guāng)質(zhì)量(liàng)和(hé)效率的(de)關(guān)鍵。單晶藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)的(de)研磨一般利用(yòng)逐級減小藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)研磨液中(zhōng)一种磨料的(de)立徑，来(lái)控制研磨的(de)進(jìn)給(gěi)量(liàng)，来(lái)獲得較好(hǎo)的(de)表面(miàn)粗(cū)糙度(dù)。由(yóu)于研磨过(guò)程中(zhōng)，硬度(dù)較大(dà)的(de)磨料在(zài)工件(jiàn)和(hé)研磨盤之(zhī)間(jiān)滾軋，容易造成較大(dà)的(de)表面(miàn)損傷层(céng)，增加了(le)抛光(guāng)时間(jiān)；另(lìng)外(wài)藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)研磨液中(zhōng)磨料利用(yòng)率低(dī)、耗費大(dà)、還(huán)污染环(huán)境。在(zài)當前(qián)，固結磨料由(yóu)于可(kě)依靠凸起(qǐ)的(de)磨料實(shí)現(xiàn)材料的(de)微量(liàng)切(qiè)除而(ér)成为(wèi)了(le)效率低(dī)損傷加工的(de)有效手(shǒu)段(duàn)。
在(zài)固結磨料加工中(zhōng)，研磨抛光(guāng)液的(de)化(huà)學(xué)作(zuò)用(yòng)也(yě)不(bù)容忽視。在(zài)利用(yòng)固結磨料抛光(guāng)矽襯底中(zhōng)，比較了(le)不(bù)同(tóng)抛光(guāng)液对(duì)材料去(qù)除率和(hé)表面(miàn)質(zhì)量(liàng)的(de)影響，發(fà)現(xiàn)抛光(guāng)液組分(fēn)和(hé)pH值得改變(biàn)对(duì)抛光(guāng)效果(guǒ)具有較大(dà)影響，從而(ér)可(kě)以(yǐ)推斷抛光(guāng)液與(yǔ)工件(jiàn)表面(miàn)具有一定(dìng)的(de)化(huà)學(xué)作(zuò)用(yòng)。
抛光(guāng)液中(zhōng)存在(zài)一种化(huà)學(xué)物(wù)質(zhì)可(kě)以(yǐ)软(ruǎn)化(huà)水(shuǐ)晶玻璃的(de)表面(miàn)表层(céng)，從而(ér)有利于材料的(de)抛光(guāng)速率的(de)提(tí)高(gāo)。但由(yóu)于藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)的(de)高(gāo)化(huà)學(xué)穩定(dìng)性，在(zài)詳细(xì)的(de)報告中(zhōng)並(bìng)沒(méi)有藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)晶片(piàn)研磨过(guò)程中(zhōng)藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)研磨液起(qǐ)到(dào)的(de)化(huà)學(xué)作(zuò)用(yòng)。
不(bù)同(tóng)研磨液对(duì)單晶藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)的(de)研磨抛光(guāng)效果(guǒ)是(shì)不(bù)一樣(yàng)的(de)，其(qí)中(zhōng)起(qǐ)到(dào)的(de)微妙化(huà)學(xué)作(zuò)用(yòng)在(zài)無形中(zhōng)影響着藍(lán)寶(bǎo)石(dàn)晶片(piàn)的(de)抛光(guāng)效率和(hé)表面(miàn)損傷度(dù)。
